MSP-3300型磁控溅射镀膜机

名称：MSP-3300型：倾斜共溅射，单片送取样品室，金属镀膜室、非金属镀膜室分开独立

应用方向：科研与教学

产品优势：倾斜共溅射，单片送取样品室，金属镀膜室、非金属镀膜室分开独立

产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Ф4英寸以上~Ф10英寸

★溅射材料：金属和非金属。

★溅射腔体：两个镀膜室均为高真空系统。

★溅射不均匀性：≤±3%-±5％

★磁控靶：每个镀膜室2-4支；可调角度；可调距离

★溅射方向：样品下置（自上而下溅射）或 样品上置（自下而上溅射）

★加热：常规加热，可选高温加热

★电源配置：射频；直流；直流脉冲；直流偏压

★清洗功能：可选配考夫曼离子源

★快速反应溅射功能：可选配Speedflo

★膜厚监控功能：可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★操作模式：全自动+半自动控制

类似产品：单腔溅射室+单片送取样室（MSP-3200）

设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。