MSP-400C型磁控溅射镀膜机

名称：MSP-400C型： 垂直溅射多片大尺寸片状样品

应用方向：小批量生产

产品优势：垂直溅射多片大尺寸片状样品

产品配置：

★样片数量及尺寸： 6-9片；Ф3英寸~Ф8英寸

★溅射材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★溅射腔体：高真空系统。

★溅射不均匀性：≤±3%-±5％

★磁控靶：2-4支

★溅射方向：样品下置（自上而下溅射）、样品上置（自下而上溅射）

★样品台旋转：公转同时自转

★加热：常规加热，可选高温加热

★电源配置：射频；直流；直流脉冲；中频；直流偏压

★清洗功能：可选配考夫曼离子源、射频离子源

★快速反应溅射功能：可选配Speedflo

★膜厚监控功能：可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★精密光学膜系统：可选配

★操作模式：全自动+半自动控制

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设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。