MSP-5100B型磁控溅射镀膜机

名称：MSP-5100B型： 棒状样品侧壁镀膜，立式设备

应用方向：棒状样品批量生产

产品优势：棒状样品侧壁镀膜，立式设备

产品配置：

★样片数量及尺寸：30-300根；Ф1mm～Ф30mm，L30mm～L200mm（依据靶尺寸和样品尺寸定制）

★溅射材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★溅射腔体：高真空系统。

★溅射不均匀性：≤±5%-±8％

★磁控靶数量：2-4支矩形磁控靶 

★磁控靶安装形式：立式安装

★样品夹具：公转+自转

★加热：常规加热 

★电源配置：射频；直流 

★清洗功能：可选配离子源清洗、射频清洗、反溅清洗模式

★快速反应溅射功能：可选配Speedflo

★膜厚监控功能：可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★操作模式：全自动+半自动控制

类似产品：片状样品批量镀膜（MSP-5100C） 

设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。