MSP-6000型磁控溅射镀膜机

名称：MSP-6000型： 矩形或圆形磁控靶侧面镀膜，卧式设备

应用方向：片状样品批量生产

产品优势：矩形或圆形磁控靶侧面镀膜，卧式设备

产品配置：

★样片数量及尺寸：

★溅射材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★溅射腔体：高真空系统。

★溅射不均匀性：≤±5%-±8％

★磁控靶数量： 

★磁控靶安装形式：卧式安装

★加热：常规加热 

★电源配置：射频；直流

★清洗功能：可选配离子源清洗、射频清洗、反溅清洗模式

★快速反应溅射功能：可选配Speedflo

★膜厚监控功能：可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★操作模式：全自动+半自动控制

设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。