感应耦合等离子刻蚀机

感应耦合等离子刻蚀机，又叫感应耦合离子刻蚀机、感应耦合等离子平面刻蚀机、等离子技术刻蚀机、感应耦合等离子金属表面处理仪、等离子清洗系统软件等。低温等离子刻蚀，是干法刻蚀中普遍的一种方式，其基本原理是曝露在电子器件地区的汽体产生等离子技术，从而造成的弱电解质汽体和释放出来源能电子器件构成的汽体，进而产生了低温等离子或电离，弱电解质汽体分子根据静电场加快时，会释放出来充足的能量与表层驱赶力牢牢地黏合原材料或蚀刻工艺表层。某种意义而言，等离子清洗本质上是等离子技术刻蚀的一种较轻度的状况。开展干试蚀刻工艺的机器设备包含反映室、开关电源、真空泵一部分。钢件送进被机械泵抽时间的反映室。汽体被导进并与等离子技术开展互换。等离子技术在钢件表层产生反映，反映的挥发物副产品被机械泵吸走。等离子技术刻蚀加工工艺事实上就是一种反映性低温等离子加工工艺。近的发展趋势是在反映室的內部安裝成搁物架方式，这类设计方案的是颇具延展性的，客户能够 移去铁架子来配备适合的等离子技术的蚀刻工艺方式：反映性等离子技术（RIE），顺水等离子技术（downstream），立即等离子技术（directionplasma）。