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DISC-ICP-8100型感应耦合等离子体刻蚀机
特点:DISC-ICP-8100型:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带双片送取样室(Load-Lock) 名称:DISC-ICP-8100型:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带双片送取样室(Load-Lock)应用方向:科研与教学产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带双片送取
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感应耦合等离子体刻蚀机 DISC-ICP-8101
名称:DISC-ICP-8101:氯基专用刻蚀设备,耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock)应用方向:科研与教学产品优势:耐氯基强腐蚀气体,带双片
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DISC-ICP-601:耐氟基或更弱气体腐蚀
名称:DISC-ICP-601:耐氟基或更弱气体腐蚀应用方向:科研与教学产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蚀材料:包括
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感应耦合等离子体刻蚀机ICP-601型
名称:ICP-601型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体刻蚀机应用方向:科研与教学产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蚀材料:包
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ICP-5101型:氯基专用刻蚀设备, 耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样室(Load-Lock)
名称:ICP-5101型:氯基专用刻蚀设备, 耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样室(Load-Lock)应用方向:科研与教学产品优势:耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样
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ICP-5100型:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带单片送取样室(Load-Lock)
名称:ICP-5100型:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带单片送取样室(Load-Lock)应用方向:科研与教学产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带单片送取样室(Lo
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ICP-8100型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体,带双片送取样室(Load-Lock)
应用方向:科研与教学产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体,带双片送取样室(Load-Lock)产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蚀材料:包括并不限于单晶硅
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ICP-8101型:氯基专用刻蚀设备,耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock)
名称:ICP-8101型:氯基专用刻蚀设备,耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock)应用方向:科研与教学产品优势:耐氯基强腐蚀气体,带双片送取样室
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ICP-1201型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体,刻蚀大尺寸片状样品
名称:ICP-1201型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体,刻蚀大尺寸片状样品应用方向:科研与小批量生产产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体,刻蚀大尺寸片状样品产品配置:★
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