蒸发镀膜机的介绍

蒸发镀膜机的介绍

       精炼炉的蒸镀系统主要是指成膜装置部分，在蒸发镀膜机上，有多个成膜装置，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等，以下介绍了电阻加热和电子枪蒸发的两种方法。蒸发镀膜机的电阻蒸发原理是依据其结构和方法进行的，是迄今为止应用广泛、蒸发时间较好的蒸发形式。

       蒸发镀膜机其工作原理是，将钨片做成一个船形，装在电极之间，然后在钨舟中心慢慢通电，电流通过钨舟、钨船用电热驱动，这种低压，高电流，使高熔点钨器产生热量，然后再传给镀膜材料，当钨舟的热值大于镀膜材料的熔点时，由于操作简单，其结构简单，成本低廉，已被很多设备使用，但由于其致密性较差，因此可以应用。在此基础上，采用这种方法蒸镀了大量材料，因而有一定的局限性。钨器蒸镀材料时，材料的熔点必须小于钨器熔点，否则不能进行。

       塑料蒸发镀膜机发展很快，随着生产率的提高，生产成本大大降低，这也为真空镀膜产品的推广应用奠定了基础。卷绕式真空镀膜机就是一个例子，新开发的薄膜基镀层厚度为150mm，现已达2253mm。一卷基材卷筒较大直径是1000毫米，较大卷速为750m/min。在蒸发镀膜机镀过程中，半连续镀工艺占整个镀膜过程的75%，辅助工作时间只占25%。真空螺旋镀膜机从1977年开始销售。随着著计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用，卷绕真空镀膜机向自动化、高可靠性方向发展。