超高真空排气台的定义及应用

一、超高真空排气台的定义：

根据压力等级，真空分为低真空、中真空、高真空和超高真空（UHV）。一般认为压力在以下的真空称为超高真空。也就是说，单位体积中的分子数只有正常大气压的1/1000000000000000000000000000000000000。

二、超高真空排气台的应用：

超高真空排气台通常用于表面科学，因为空气中的分子附着在暴露在空气中的固体表面上，并改变固体的表面特征。即使在高真空中，一层分子也会在3秒内附着在暴露的固体表面上。然而，在超高真空排气台中，同样的过程将需要数小时才能完成，以确保表面特征研究的正常发展。在这种超低压下，单个分子的平均自由度可以达到40Km。也就是说，真空腔内几乎所有的分子都会与腔壁发生碰撞。

根据分子能，真空空间可分为四种类型：近场真空、热真空、低温等离子体真空和高能粒子真空。

表面科学家和表面分析仪器工程师一直在研究近场区域。人们主要研究热真空，包括地球环境技术。

材料表面处理人员利用热真空和低温常规等离子体真空的知识。

表面处理系统中的超高真空技术是R&D技术为基础，在工业应用中有很多种。考虑到经济因素，在实际应用中使用了大量的特殊材料。

在工业上，超高真空技术是超清洁技术任何材料和处理过程都应保持清洁。超高真空处理的首步是表面除气和测量。我们首先讨论的是超高真空系统的分子动力学基础。