离子束刻蚀机了解一下

  离子束刻蚀机分辨率高，可用于细小图形的蚀刻。离子束加工小孔的优点是孔壁光滑，不会对邻近区域产生应力和损伤，可以加工任何形状的小孔，小孔的形状只取决于口罩的孔型。

  超精细微加工要求在纳米级缝加工。零件需要10nm的碳膜时，用电子束蒸10nm的1/60/40金铝膜。

  将样本置于真空系统中，使其表面自然形成-一种受污染的抗腐蚀剂口罩，用电子束曝光显影，形成线宽8nm的图形，然后用离子束浸蚀，离子束流密度0.1mA/cm，离子能量1keV；另一种将线宽8nm，深宽比提高到2.5:10，线宽20nm，厚度8nm。显然，离子束加工可以获得高精度。

  利用真空中的高频激励作用产生光辉放电，使四氟碳中的氟离子电离，使化学活性粒子和蚀刻材料产生化学反应，产生蚀刻的光辉物质。为了确保氟离子浓度和腐蚀速度，需要加入一定比例的氧气来产生二氧化碳。腐蚀太阳能电池板周围的P-N结， 离子束刻蚀机使太阳能电池板周围处于开放状态。也可用于半导体技术中多晶硅、氮化硅腐蚀的去除。

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