蒸发镀膜机流程

蒸发镀膜机流程

一、运行流程

开循环水—开总开关—分子泵电源—开合总开关—开合电阻单元旁开关2.开气阀(确定电离规已关闭)，待电阻单元显示大气压时，打开玻璃罩放入样品及蒸镀靶材3.关闭气阀—自动开气阀—待电离单元减为<1*10-3(约90°)；开气阀取样7.开气阀取膜7.清理玻璃罩归位，手动开泵、前极阀，待电阻单元降至5Pa后，调整电流至理想蒸发速率为0-0.1埃/秒，理想蒸发厚度，待膜厚到达设定厚度，电流归零，关闭蒸发电源，6.关闭电离规，开气阀取膜7.清理玻璃罩归位，用手动开泵、前极阀、待电阻单元降至5Pa，依次关闭所有电源和开管。

二、膜机工作原理。

将某种物质加热蒸发后沉积在固体表面的过程称为蒸发镀膜。这一工艺当初是在1857年由摩尔人提出的，现在已经成为一种常用的镀膜工艺。蒸镀装置的构造蒸发物如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作蒸发源，待镀的金属、陶瓷、塑料等衬底置于坩埚前。在待机系统抽到高真空后，加热坩埚使其蒸发。蒸发物的原子或分子通过凝结在基板表面沉积。膜厚可以从几百埃到几微米不等。膜的厚度决定于蒸发源的蒸发速度和时间(或决定于物料的加入量)，还取决于源和基片之间的距离。对大面积镀膜，为了保证膜层厚度的均匀性，通常采用旋转式衬底或多重蒸发剂。为避免蒸汽分子与残余气体碰撞而发生化学反应，蒸气发源至基片的距离应小于蒸汽分子在其内部的平均自由程。蒸汽分子的平均动能在0.1~0.2电子伏之间。