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MSP-4200型磁控溅射镀膜机
特点: 垂直溅射,多片送样室+多片取样室(双Load-Lock) 应用方向:小批量生产产品优势:垂直溅射,多片送样室+多片取样室(双Load-Lock)★样片数量及尺寸: 6-9片;Ф3英寸~Ф8英寸★溅射材料:金属;非金属;
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PECVD-601型: 高性能薄膜制备
应用方向:科研与教学产品优势:高性能薄膜制备产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不限于硅基(Si)薄膜、碳基(C)薄膜、硅锗合金(SiGe
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PECVD-8100型等离子体化学气相沉积设备
特点:高性能薄膜制备,带有双片样品库(Load-Lock) 应用方向:科研与小批量生产产品优势:高性能薄膜制备,带有双片样品库(Load-Lock)产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不限于硅基(S
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PECVD-802L型等离子体化学气相沉积设备
特点:带单样品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用 应用方向:科研与教学产品优势:带单样品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括
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PECVD-4000型等离子体化学气相沉积设备
特点:三个沉积室+单样品送取样室,特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用 应用方向:科研与小批量生产产品优势:三个沉积室+单样品送取样室,特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不
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