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  • MSP-4200型磁控溅射镀膜机

    MSP-4200型磁控溅射镀膜机

    特点: 垂直溅射,多片送样室+多片取样室(双Load-Lock) 应用方向:小批量生产产品优势:垂直溅射,多片送样室+多片取样室(双Load-Lock)★样片数量及尺寸: 6-9片;Ф3英寸~Ф8英寸★溅射材料:金属;非金属;

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  • In-Line多腔体多功能集成设备系列

    In-Line多腔体多功能集成设备系列

    名称:In-Line多腔体多功能集成设备系列

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  • Cluster多腔体多功能集成设备系列​

    Cluster多腔体多功能集成设备系列​

    名称:Cluster多腔体多功能集成设备系列设备详细结构与功能,请咨询销售工程师

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  • MSP-400E型磁控溅射镀膜机

    MSP-400E型磁控溅射镀膜机

    特点: 半球、圆锥、碗状、异形工件均匀镀膜设备应用方向:小批量生产产品优势:半球、圆锥、碗状、异形工件均匀镀膜设备设备详细结构与功能,请咨询

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  • MSP-5100D型磁控溅射镀膜机

    MSP-5100D型磁控溅射镀膜机

    特点: 半球、圆锥、碗状、异形工件均匀镀膜设备 ,采用软件自动控制轨迹MSP-5100DAMSP-5100DBMSP-5100DC应用方向

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  • RTR-9000型磁控溅射镀膜机

    RTR-9000型磁控溅射镀膜机

    特点: 柔性材料卷绕镀膜应用方向:批量生产产品优势:柔性材料卷绕镀膜设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

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  • MEB-600型电子束/热阻蒸发镀膜机

    MEB-600型电子束/热阻蒸发镀膜机

    特点: 多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控应用方向:科研与教学产品优势:多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控产品配置:★样片数量及尺寸: 1片Φ

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  • MEB-800型电子束/热阻蒸发镀膜机

    MEB-800型电子束/热阻蒸发镀膜机

    特点: 电子枪+热阻蒸发,膜厚监控 ,大尺寸片状样品蒸发镀膜应用方向:科研与小批量生产产品优势:电子枪+热阻蒸发,膜厚监控 ,大尺寸片状样品蒸

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  • PECVD-601型: 高性能薄膜制备

    PECVD-601型: 高性能薄膜制备

    应用方向:科研与教学产品优势:高性能薄膜制备产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不限于硅基(Si)薄膜、碳基(C)薄膜、硅锗合金(SiGe

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  • PECVD-8100型等离子体化学气相沉积设备

    PECVD-8100型等离子体化学气相沉积设备

    特点:高性能薄膜制备,带有双片样品库(Load-Lock) 应用方向:科研与小批量生产产品优势:高性能薄膜制备,带有双片样品库(Load-Lock)产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不限于硅基(S

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  • PECVD-802L型等离子体化学气相沉积设备

    PECVD-802L型等离子体化学气相沉积设备

    特点:带单样品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用 应用方向:科研与教学产品优势:带单样品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括

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  • PECVD-4000型等离子体化学气相沉积设备

    PECVD-4000型等离子体化学气相沉积设备

    特点:三个沉积室+单样品送取样室,特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用 应用方向:科研与小批量生产产品优势:三个沉积室+单样品送取样室,特别适用P-I-N膜层沉积或类似应用产品配置:★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸★沉积材料:包括并不

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