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特点:大尺寸片状样品去胶 ,均匀性高 应用方向:科研与教学产品优势:大尺寸片状样品去胶 ,均匀性高产品配置:★样品数量及尺寸:1片Φ6英寸(或以下)★腔体:低真空系统★刻蚀材料:光刻胶、聚酰亚胺、S
特点:效率高,多片同时去胶 应用方向:批量生产产品优势:高效率,多片同时去胶产品配置:★样品数量及尺寸:15-20片Φ6英寸(或以下)★腔体:低真空系统★刻蚀材料:光刻胶等材料★去胶速率: